renishaw激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn)，對(duì)數(shù)控設(shè)備的位置精度、幾何精度進(jìn)行精密測量的高精度測量儀器。儀器測量的是距離、以及衍生出來的平行度、垂直度、直線度、圓度，測量的精度可高達(dá)0.2微米/米，但同時(shí)對(duì)環(huán)境也較為挑剔。

　　

　　激光精度受環(huán)境影響較大，*的測量精度必須依靠較為穩(wěn)定車間環(huán)境，所以激光干涉儀要得出真實(shí)的測量數(shù)據(jù)必須和機(jī)床充分預(yù)熱，車間環(huán)境也參考儀器使用的環(huán)境。

　　

　　激光干涉儀初步調(diào)整后，固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過“整體”調(diào)整瞄準(zhǔn)光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時(shí)透過“尾部”調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反光鏡光靶，若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調(diào)整“整體”，再次對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸，繼續(xù)調(diào)整“尾部”，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個(gè)過程，往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。

　　

　　renishaw激光干涉儀的使用注意事項(xiàng)

　　

　　1、儀器必須定人保管，技術(shù)組人員專人送檢，他人不得隨意動(dòng)用，以防損壞，降低精度。

　　

　　2、要設(shè)置專庫存放，環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。

　　

　　3、對(duì)儀器要小心輕放，避免強(qiáng)烈的沖擊震動(dòng)，安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性，整個(gè)作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發(fā)生。

　　

　　4、renishaw激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測量，此時(shí)檢測結(jié)果將收到很大的影響。